产品详情
/ PRODUCT DETAIL
半导体设备用弹簧
半导体设备用弹簧
产品特色
- 采用高精度不锈钢或镍合金材料，具优异的抗蚀性与高温稳定性，能应对无尘室及化学气体环境。
- 弹力稳定、形变小，适用于高精密运动控制机构。
- 经表面抛光与洁净处理，符合半导体制程设备的洁净度要求。
- 可依客户设备需求设计特定线径、弹力与压缩行程。
- 通过高循环寿命与高精密负载测试，确保长期运作稳定可靠。
应用产业
- 半导体制程设备（晶圆传送模块、治具机构、真空腔体机构）
- 精密机械与自动化设备
- 光电、面板与电子零组件制造设备
- 微型机构弹性组件与振动吸收装置